杂志介绍
真空科学与技术学报基本信息：
刊名：真空科学与技术学报
ChineseJournalofVacuumScienceandTechnology
曾用刊名：真空科学与技术
主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国真空学会
主编：吴锦雷
周期：月刊
出版地：北京市
语种：中文;
开本：大16开
ISSN：1672-7126
CN：11-5177/TB
创刊时间：1981
单价：15.00
复合影响因子：1.328
综合影响因子：1.119
真空科学与技术学报期刊收录：
国家新闻出版总署收录、中国知网收录、维普期刊网收录、万方数据库收录、中国科学引文数据库、《化学文摘（网络版）》、文摘与引文数据库、《工程索引》Compendex数据库（核心）、《日本科学技术振兴机构中国文献数据库》、皇家化学学会系统列文摘、北大2011版核心期刊、中国科技论文统计源期刊（中国科技核心期刊）、北大2004版核心期刊、北大2008版核心期刊、本刊MARC数据、本刊DC数据、国家图书馆馆藏、上海图书馆馆藏。
真空科学与技术学报主要栏目：
学术论文、综述评论、技术交流、工业研究与应用。
真空科学与技术学报联系方式：
地址：北京朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮政编码：100022
电话：010-58206280
邮箱：vst@
真空科学与技术学报杂志信息：
《真空科学与技术学报》由中国真空学会主办,是中国科学技术协会审定的部级自然科学技术刊物,双月刊,国内外公开发行。本刊论文被EI、CA、SA和INSPEC等国际著名检索系统收录。读者对象为真空技术领域的科技人员、大专院校师生。有英文摘要和目次。继承《真空科学与技术》（1981）。
《真空科学与技术学报》刊载的论文的内容主要涉及如下学科:真空科学与技术、薄膜物理与工艺、表面及界面物理、应用表面科学、物理电子学、电子材料与处理、纳米科学与技术、电真空技术、核真空技术及真空冶金等。
真空科学与技术学报常见范例：
FCVA法沉积的超薄类金刚石薄膜的结构与热稳定性---陈莲华车晓舟王平马洪涛方宏新
静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究---李得天赵光平郭美如徐婕
皮革真空湿加工设备与工艺的研究---文怀兴章川波褚园
应用MAFIA软件改进行波管性能---姚刘聪刘韦苏小保
低架水蒸汽喷射真空泵的结构改进---王超袁守谦杜江张兵
真空触发开关的起弧稳定性分析---周正阳廖敏夫董华军邹积岩
PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦学性能---杨莉陈强张受业
射频磁控溅射法低温制备ZNO∶ZR透明导电薄膜及特性研究---张化福刘汉法类成新袁长坤
磁控溅射TIC/A-C薄膜的结构和摩擦学性能研究---张文艳张旭海方峰蒋建清
射频溅射法制备硫化钨固体润滑薄膜的研究---杜广煜巴德纯王晓光惠秀梅
镀制工艺对TIO_2光学膜层折射率影响研究---耿桂宏
大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究---张军峰边心超陈强张跃飞刘福平
HE-AR潘宁过程对表面波等离子体的影响---王坤李建王世庆郦文忠柳建徐灵飞孙乃峰
等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用---任瑛张贵锋董闯姜辛
表面波等离子体天线的能量衰减系数研究---位朝垒王世庆鄢泽林李建孙乃峰
真空热处理对TBDYFE薄膜结构和磁学性能的影响---魏玉鹏王姝张旭东李建功
生物可降解FE-O薄膜的制备及性能表征---朱生发徐莉刘恒全张瑜孙鸿黄楠
磁控溅射法制备铁磁形状记忆合金NI-MN-GA薄膜的力学性能研究---金岚李长生张晔孙建李学超
栅极调制纳米线的场发射特性---雷达王维彪曾乐勇梁静秋
磁控溅射制备非晶态TIO_2-V薄膜的光催化性能研究---黄佳木蔡小平赵培李月霞
螺旋线行波管非线性失真分析---唐康淞赵刚李实阴和俊
全超导托卡马克第一壁石墨材料的放气特性研究---陈长琦窦仁超胡建生龚先祖王小明王厚银
刀片表面TI-SI-N涂层的制备及应用研究---黄林君赵海波沈保罗梁红樱王辉
划痕法综合评定膜基结合力---瞿全炎邱万奇曾德长刘正义
ITO薄膜的透射谱解谱---郭守月曹春斌孙兆奇
原子层沉积技术及其在光学薄膜中的应用---何俊鹏章岳光沈伟东刘旭顾培夫
反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能---李广泽乌晓燕陈扬辉李戈扬
离子束轰击对电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力的影响---陈焘罗崇泰王多书刘宏开
TIZRV吸气剂激活过程的XPS分析---褚永俊熊玉华杜军尉秀英秦光荣
等离子体辅助脉冲激光沉积和原位掺杂方法制备稀土掺杂GAN薄膜---高昆卢意飞施立群孙剑许宁吴嘉达
真空钎焊温度的建模与解耦控制---李晓斌吴燕翔孙海燕寇得民
CUALO_2热电性能的研究进展---方亮黄秋柳彭丽萍吴芳
KA波段金属光子带隙慢波结构的特性分析---高喜杨梓强亓丽梅兰峰史宗君梁正
铜上溅射沉积铀薄膜AES研究---蒋春丽鲜晓斌肖红陆雷
SN_2S_3薄膜制备及结构与光学特性---卢建丽李健白海平杨晶
基于H-SI100表面上原子层沉积AL_2O_3的仿真研究---申灿黄光周马国欣叶位彬朱建明戴晋福
掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究---李喆张溪文韩高荣
NEAGAN和GAAS光电阴极激活机理对比研究---乔建良常本康牛军杨智邹继军