微细加工技术杂志

微细加工技术杂志介绍

《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。主要反映半导体集成电路制造业的新工艺和新设备，是该领域科研工作者和工作报告的园地，为科研人员和我国信息产业化、现代化服务。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主要栏目：综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。

本刊主要资助项目有：国家自然科学基金、国家高技术研究发展计划、国家重点基础研究发展计划、国家教育部博士点基金、国家重点实验室开放基金、山东省自然科学基金、中国科学院知识创新工程、中国博士后科学基金、上海市自然科学基金、中国科学院知识创新工程重要方向项目。

本刊主要资助课题有：国家自然科学基金(90307003)、山东省自然科学基金(Y2003G03)、国家重点基础研究发展计划(2003CB716204)、国家自然科学基金(59671051)、山东省科技攻关计划(022090105)、国家高技术研究发展计划(2004AA404260)、国家高技术研究发展计划(2003AA404150)、国家自然科学基金(10572078)、国家自然科学基金(50275140)、国家高技术研究发展计划(2003AA404140)。

微细加工技术杂志征稿要求

1.来稿一律文责自负。依照《著作权法》有关规定，本刊可对来稿做文字修改、删节，凡有涉及稿件原意的修改，则提请作者考虑。

2.中文标题一般不超过20字，正文层次标题应简短明确，可不编号；如需编号，各层次一律用大写数字连续编号，依次为：一、（一）、1、（1）等。

3.作者简介列于文末的六角括号（“〔〕”）内，其内容包括，作者姓名、工作单位、职务与职称、学历或学位、主要学术兼职，主要研究领域等。

4.正文所引文献须在正文末尾列出。中文参考文献在先，外文在后。中文按作者姓氏的汉语拼音字母顺序排列，外文按作者姓氏的字母顺序排列。每条文献必须顶格书写或打印，换行时前面空两格。

5.注释的方式，序号用①、②、③、④……的形式，注释格式为，著者：文献名，出版社名（或杂志名），出版年（或杂志期次），页码。

6.论文摘要尽量写成报道性文摘，包括目的、方法、结果、结论4方面内容(200字左右)，应具有独立性与自含性。

7.正文应层次清楚，方便阅读，行文符合规范。正文中的各级标题分别为：“1”、“1.1”、“1.1.1”等。

8.公式中的外文字母的大小写、正斜体、上下角标、数学符号、数字、公差值、绝对值和其他符号使用正确，书写清楚。

9.来稿所关涉的立项课题及需要志谢的有关人员，应以题注的形式标在正文首页下方。涉及的课题须注明课题名称和项目编号。

10.姓名在文题下按序排列，多作者稿署名时须征得其他作者同意，排序应在投稿时确定。接录用通知后不再改动。获得各项课题资助的来稿将优先发表（需要在稿件首页注明）。