微细加工技术
  • 创刊时间1983
  • 影响因子0.19
  • 发行周期双月刊
  • 审稿周期3-6个月

微细加工技术杂志 统计源期刊

主管单位:信息产业部 主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所

《微细加工技术》是一本由中国电子科技集团公司第48研究所主办的一本电子类杂志,该刊是统计源期刊,主要刊载电子相关领域研究成果与实践。该刊创刊于1983年,出版周期双月刊,影响因子为0.19。该期刊已被EI 工程索引(美)、万方收录(中)、上海图书馆馆藏、国家图书馆馆藏、知网收录(中)、维普收录(中)收录。

出版信息:
期刊类别:电子
出版地区:湖南
出版语言:中文
纸张开本:A4
基本信息:
国内刊号:43-1140/TN
国际刊号:1003-8213
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微细加工技术杂志介绍

《微细加工技术》创刊于1983年,是国家科委和国家新闻出版署批准,国内外公开发行的中央级重要科技期刊。主要反映半导体集成电路制造业的新工艺和新设备,是该领域科研工作者和工作报告的园地,为科研人员和我国信息产业化、现代化服务。是国家一级检索刊物,已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录,是《中国期刊网》、《中国学术期刊(光盘版)》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊,是《中国科学引文数据库》来源期刊。

主要栏目:综述、电子束技术、离子束技术、光子束技术、薄膜技术、微机械加工技术、纳米技术等。

本刊主要资助项目有:国家自然科学基金、国家高技术研究发展计划、国家重点基础研究发展计划、国家教育部博士点基金、国家重点实验室开放基金、山东省自然科学基金、中国科学院知识创新工程、中国博士后科学基金、上海市自然科学基金、中国科学院知识创新工程重要方向项目。

本刊主要资助课题有:国家自然科学基金(90307003)、山东省自然科学基金(Y2003G03)、国家重点基础研究发展计划(2003CB716204)、国家自然科学基金(59671051)、山东省科技攻关计划(022090105)、国家高技术研究发展计划(2004AA404260)、国家高技术研究发展计划(2003AA404150)、国家自然科学基金(10572078)、国家自然科学基金(50275140)、国家高技术研究发展计划(2003AA404140)。

微细加工技术杂志数据统计

历年影响因子和发文量

主要机构发文分析

机构名称 发文量 主要研究主题
中国科学院 192 光刻;电子束曝光;曝光机;电子束曝光机;掩模
上海交通大学 129 微机电系统;电系统;机电系统;MEMS;刻蚀
清华大学 60 微细;光刻;微细加工;离子束;聚焦离子束
中国科学技术大学 47 刻蚀;离子束;离子束刻蚀;光刻;衍射
电子工业部 46 离子注入;注入机;离子注入机;半导体;电路
中国科学院微电子研究所 38 光刻;掩模;X射线光刻;电子束曝光;分辨率
中国科学院长春光学精密机械与... 34 光栅;MEMS;刻蚀;光刻;传感
山东大学 29 电子束;电子束曝光;曝光机;电子束光刻;电子束曝光机
山东工业大学 28 电子束曝光;曝光机;电子束曝光机;电子束;电路
华中理工大学 26 刻蚀;溅射;半导体;等离子体;离子束

微细加工技术杂志文章选集

  • PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计 侯锡立 靳鹏云
  • 高速偏放系统噪声抑制技术的研究 姚作宾 张玉林 魏守水
  • 霍尔传感器特性曲线的样条函数拟合方法 邓重一 廖海生
  • α-Fe2O3纳米粉体的低温燃烧合成与表征 李文戈 金华峰
  • 氨化法制备大量单晶GaN纳米线及其特性研究 薛成山 秦丽霞 庄惠照 陈金华 杨兆柱 李红
  • 硅基热电堆真空传感器的制造技术 马斌 梁平治 陈世军 程正喜
  • 计算机硬盘微晶玻璃基板抛光研究 刘学璋 王柏春 许向阳 谢圣中 翟海军
  • 柔性压电式微位移机构动态特性的实验研究 孙宝玉
  • 固相悬浮研磨法制备纯氧化锆超细粉 段国荣 李爱梅 杨绪杰 陆路德 汪信
  • 柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究 吴义伯 邢玉梅 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 李刚
  • 微球体尺度对硅片表面改性效果的影响 李伟 张德坤 吴虎城
  • 莫尔条纹噪声控制及细分精度分析 吕孟军 郭琪
  • 氧化锌薄膜体声波谐振器的研制 汤亮 郝震宏 乔东海 汪承灏
  • 镍/碳纳米管复合薄膜的制备及其性能的研究 吴嘉浩 刘萍 徐东 张亚非

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邮编:410111

主编:伍三忠

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